반도체 공정 설비

ultra pure graphite Mersen
MOCVD expitaxy graphite tools Mersen
fine grain graphite Mersen
semicondutor equipment Mersen

반도체, 화합물에 사용되는 고순도 그라파이트 소재

에피택시 및 MOCVD

에피택시 또는 MOCVD와 같은 박막 증착 단계에서 메르센은 기판 또는 "웨이퍼"를 지지하는 데 사용되는 고순도 그라파이트 부품을 공급합니다. 이 공정에서 설비(MOCVD를 위한 에피택시 서셉터 또는 세틀라이트)들은 아래의 열악한 증착 환경에 노출됩니다.

  • 고온
  • 고압
  • 반응성 높은 가스 사용
  • 무오염, 박리가 없어야 함
  • 내화학성

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