이온 주입
이온 주입 기술은 반도체 산업에서 특히 붕소, 인, 비소와 같은 도핑제가 도입될 때 기판의 조성 및 물리적 특성을 국부적으로 수정하기 위해 사용됩니다. 이 기계의 전극 및 그라파이트 보호 스크린은 이온 충격으로 인해 크게 침식됩니다.
- 메르센의 미세 입자, 고밀도, 고순도 그라파이트는 침식에 매우 잘 견딥니다.
- 메르센은 부품의 강도를 더욱 향상시키면서 카본 파티클 방출을 줄이기 위해 글라시 카본 함침 "VCI" 공정을 개발했습니다.