실리콘 웨이퍼 제조

•	고순도 그라파이트  Mersen
•	고순도 그라파이트 발열체 Mersen
•	고순도 그라파이트 발열체 Mersen

CZ 풀러 및 DSS 가열로용 고순도 그라파이트

메르센은 웨이퍼의 순도와 결정화 중 고온 영역의 제어를 보장하는 지속 가능하고 효율적인 솔루션을 제공합니다.

메르센은 이 산업의 제약 조건에 적합한 설비와 부품을 제공합니다.

  • 고순도 그라파이트 도가니
  • 고순도 그라파이트 히터
  • 그라파이트 또는 C/C 컴포지트 원통형 열 보호재
  • 결정 성장 시 열 변화를 제어하기 위한 소프트 펠트 및 리지드 카본 단열재
  • 컴포지트 볼트,너트
  • 그라파이트 열 교환기

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