반도체 및 광기계공학 OEM

gs-semiconductor-opto-mechanics-OEMs-mersen-1

Mersen Boostec은 반도체 및 광 기계공학 장비에서 요구되는 실리콘카바이드 초안정성 구조를 제공합니다.

BOOSTEC® SiC 솔루션은 다음과 같이 초정밀이 요구되는 분야에 사용됩니다.

  • 반도체 산업 공정
  • EUV 리소그래피(lithography) 기계
  • 첨단 광학면 계측기
  • 초고진공
  • 과학 장비

 

Boostec® SiC 솔루션

  • 개방적인 Boostec® SiC 솔루션 구성 옵션
  • 높은 기계적 강도 및 기계적 피로 없음
  • SiC 재료의 완전한 등방성
  • 광학 기준으로 사용될 수 있는 완벽한 광택 마감 처리
  • 시간 경과에 따른 완벽한 안정성
  • 물 및 가스 밀폐, 가스 배출 없음, 수분 흡수 없음
  • 내마모성
  • 뛰어난 화학 관성

 

Boostec의 제조 및 설계 전문성

  • 3미터 급 초 안정 구조물 제조에 대한 독특한 경험
  • 단일 부품에 통합 솔루션 가능: 에어 베어링 시스템, 내부 채널을 통한 냉각, 거울
  • 모놀리식(monolithic) SiC 부품에서 복잡한 어셈블리에 이르기까지 Mersen Boostec은 고 안정성 벤치, 베이스 플레이트, 빔, 빠르고 정확한 포지셔닝을 위한 슬라이딩 구조물 및 척을 제조합니다.

 

Contact In