반도체 및 광기계공학 OEM
Mersen Boostec은 반도체 및 광 기계공학 장비에서 요구되는 실리콘카바이드 초안정성 구조를 제공합니다.
BOOSTEC® SiC 솔루션은 다음과 같이 초정밀이 요구되는 분야에 사용됩니다.
- 반도체 산업 공정
- EUV 리소그래피(lithography) 기계
- 첨단 광학면 계측기
- 초고진공
- 과학 장비
Boostec® SiC 솔루션
- 개방적인 Boostec® SiC 솔루션 구성 옵션
- 높은 기계적 강도 및 기계적 피로 없음
- SiC 재료의 완전한 등방성
- 광학 기준으로 사용될 수 있는 완벽한 광택 마감 처리
- 시간 경과에 따른 완벽한 안정성
- 물 및 가스 밀폐, 가스 배출 없음, 수분 흡수 없음
- 내마모성
- 뛰어난 화학 관성
Boostec의 제조 및 설계 전문성
- 3미터 급 초 안정 구조물 제조에 대한 독특한 경험
- 단일 부품에 통합 솔루션 가능: 에어 베어링 시스템, 내부 채널을 통한 냉각, 거울
- 모놀리식(monolithic) SiC 부품에서 복잡한 어셈블리에 이르기까지 Mersen Boostec은 고 안정성 벤치, 베이스 플레이트, 빔, 빠르고 정확한 포지셔닝을 위한 슬라이딩 구조물 및 척을 제조합니다.